磁悬浮转子微陀螺悬浮线圈的结构设计

• 作者: 何淼 吴校生 崔峰 张卫平 李振波 赵小林 陈文元
• 来源期刊: 上海交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁悬浮 微陀螺 线圈 微细加工
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 125-128
• 页数: 4页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 2571字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-2467.2005.01.030

摘要

在磁悬浮转子微陀螺(MGELR)中,悬浮线圈是定子线圈的重要组成部分,它产生的电磁力将微转子浮起.基于多圈螺旋型悬浮线圈新型结构能产生较大的悬浮力,应用有限元方法对其进行建模仿真,研究了线圈的圈数、厚度和内径对悬浮力的影响规律.结果表明:随着悬浮线圈的圈数增多,悬浮力增大且幅度增加;线圈厚度增加,悬浮力减小;随着悬浮线圈内径增加,悬浮力呈线性增加.采用了光刻、电镀、溅射等微细加工工艺制造了MGELR的定子.初步的实验结果验证了该设计方案是可行的.