Monte Carlo方法计算定量俄歇电子能谱分析中的背散射因子

• 作者: 丁泽军 张增明 谈文舒
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 关键词: 背散射因子 俄歇电子能谱(AES) 蒙特卡洛(Monte Carlo)
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 541-546
• 页数: 6页
• 分类号: O242.2|TH838+.2|O46
• 字数: 946字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2005.06.001

摘要

本文通过Monte Carlo方法模拟计算了定量俄歇电子能谱分析(如对Ni的L3VV俄歇电子和Pt的M5N67N67俄歇电子)中的背散射因子.由于计算中结合了相关领域的各种最新进展,因此该新计算可以为定量俄歇电子能谱分析提供更为准确的参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁泽军	合肥微尺度物质科学国家实验室中国科学技术大学物理系	4	18	3.0	4.0
2	张增明	合肥微尺度物质科学国家实验室中国科学技术大学物理系	3	16	3.0	3.0
3	谈文舒	合肥微尺度物质科学国家实验室中国科学技术大学物理系	1	3	1.0	1.0