薄膜应力测定研究现状

• 作者: 张文 曹兴进
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 应力 测定 原理
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 127-130
• 页数: 4页
• 分类号: TH16
• 字数: 4217字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2005.04.051

摘要

简介薄膜应力的产生原因,根据薄膜应力测定方法研究的现状,对一些主要测定方法的基本原理及各自的特点进行了综述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹兴进	重庆大学机械传动国家重点实验室	19	232	10.0	15.0
2	张文	重庆大学机械传动国家重点实验室	10	202	6.0	10.0