薄膜应力测量研究现状

• 作者: 张萌 徐鹏
• 来源期刊: 科技广场
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 应力
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 125-126
• 页数: 2页
• 分类号: O3
• 字数: 2122字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4792.2006.12.056

摘要

本文总结了薄膜应力的一些测量方法,对一些主要测量方法的基本原理及各自的特点进行了综述.探讨了薄膜应力研究的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张萌	南昌大学材料科学与工程学院	69	569	12.0	20.0
2	徐鹏	南昌大学分析测试中心	28	160	8.0	11.0