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摘要:
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基于TSV技术的CIS芯片晶圆级封装工艺研究
3DIC
CIS
TSV
晶圆级封装工艺流程
化学镀
镍滋生
纳米级硼酸钙的制备
纳米
硼酸钙
制备
超临界流体干燥
纳米级封堵剂及其应用
纳米级封堵剂
超细水泥
粒径
抗压强度
渗透率
膨胀率
流动度
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 迈向纳米级芯片技术的IMEC研发--先进封装技术部分
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2005,(5) 所属期刊栏目 先进封装技术
研究方向 页码范围 29-32
页数 4页 分类号 TN305.94
字数 3709字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.05.006
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
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31
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10002
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