超快脉冲激光沉积类金刚石膜的研究进展

• 作者: 万强 卢常勇 王小兵 郭延龙
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 超快脉冲激光(ultta-fast) 脉冲激光沉积(PLD) 类金刚石膜(DLC)
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 3494字
• 语种: 中文

摘要

综述了脉冲沉积(PLD)类金刚石膜(DLC)的优势和局限,对其局限的补偿和突破,以及脉冲沉积法的重要发展方向--超快脉冲激光沉积(Ultra-fast PLD)类金刚石膜(DLC)的研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王小兵	武汉军械士官学校光电技术研究所	37	346	11.0	17.0
2	卢常勇	武汉军械士官学校光电技术研究所	30	262	10.0	15.0
3	郭延龙	武汉军械士官学校光电技术研究所	31	246	8.0	15.0
4	万强	武汉军械士官学校光电技术研究所	34	291	8.0	16.0