钛表面沉积Fe-Pd磁性薄膜的研究

• 作者: 周廉 李争显 王克光 程何祥 马波
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: TA1钛表面 Fe-Pd薄膜 扩散
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 1341-1344
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.2+3
• 字数: 1835字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2005.08.041

摘要

采用电弧离子镀设备,以高纯Fe靶和Pd靶为原料,在TA1工业纯钛表面先后沉积Fe,Pd2层单金属薄膜.对样品分别进行700℃～1100℃,保温0.5h～3h的真空退火处理,使Fe膜和Pd膜之间形成扩散层,制备FePd磁性膜.重点研究了Fe,Pd及钛衬底之间的互扩散机制,膜层结构,薄膜的相组成.结果表明:在700℃,0.5h处理后FePd薄膜的合金化较好;在900℃,1h处理后虽有FePd相形成,但基体中的Ti已经扩散至表面;温度高于900℃且保温时间长于1h处理,不利于FePd膜的形成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周廉		269	3301	28.0	42.0
2	李争显		169	1281	19.0	26.0
3	王克光		28	378	11.0	19.0
4	程何祥		6	21	3.0	4.0
5	马波		4	5	2.0	2.0