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摘要:
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磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
不同气氛条件下类金刚石薄膜的合成
类金刚石薄膜
聚合物热解
碳源物质
金刚石薄膜的研究进展
金刚石薄膜
合成方法
成核机理
影响因素
应用领域
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 纳米多层类金刚石(DLC)薄膜
来源期刊 科技开发动态 学科 交通运输
关键词 TiN薄膜 类金刚石 表面改性处理 欧Ⅲ排放标准 多层 纳米 燃油喷射系统 耐磨寿命 工业化应用
年,卷(期) 2005,(10) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 52
页数 1页 分类号 U464
字数 语种 中文
DOI
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引文网络
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2005(0)
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研究主题发展历程
节点文献
TiN薄膜
类金刚石
表面改性处理
欧Ⅲ排放标准
多层
纳米
燃油喷射系统
耐磨寿命
工业化应用
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
总被引数(次)
0
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