P+膜制备工艺研究

• 作者: 冯勇建 张丹 林雁飞
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 扩散 P+膜 硼硅玻璃 自停止腐蚀
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 387-388
• 页数: 2页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.137

摘要

通过对浓硼扩散工艺的介绍,讨论了沉积过程中的几个重要参数,并针对扩散过程中出现的硼硅玻璃等问题,提出了可行的解决方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯勇建		103	953	15.0	26.0
2	张丹		21	101	6.0	9.0
3	林雁飞		6	52	4.0	6.0