利用改进的电荷泵法研究SONOS存储器陷阱电荷的分布特性

• 作者: 孙磊 庞惠卿 朱钧 潘立阳
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: flash存储器 SONOS 电荷俘获型存储器 电荷泵法 电荷分布
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1886-1891
• 页数: 6页
• 分类号: TP333.5
• 字数: 536字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.10.005

摘要

在silicon-oxide-nitride-oxide-silicon(SONOS)等电荷俘获型不挥发存储器中,编程操作后注入电荷的分布会对器件的读取、擦写以及可靠性带来影响.利用电荷泵方法可以有效而准确地测量出注入电荷沿沟道方向的分布.为了提高测试精度,在进行电荷泵测试时,采用固定低电平与固定高电平相结合的方法,分别对SONOS器件源端和漏端进行注入电荷分布的测试.通过测试,最终获得SONOS存储器在沟道热电子注入编程后的电子分布.电子分布的峰值区域在漏端附近,分布宽度在50nm左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱钧	清华大学微电子学研究所	43	464	12.0	20.0
2	潘立阳	清华大学微电子学研究所	20	173	5.0	13.0
3	孙磊	清华大学微电子学研究所	8	49	4.0	7.0
4	庞惠卿	清华大学微电子学研究所	1	2	1.0	1.0