一种射频微机械可变电容的设计与优化

• 作者: 吕苗 张志国 李丽 赵正平
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 射频微机械 可变电容 高Q值 宽调节范围
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 240-242
• 页数: 3页
• 分类号: TM532.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.083

摘要

提出了一种高Q值、宽调节范围的凹型结构微机械可变电容.它由4个(3对)极板构成,其中一对为电容极板,另外两对为控制极板.RF信号通过电容极板传输,而直流控制电压则施加在控制极板上.使用HFSS软件对该电容进行了结构仿真及优化,得到最大Q值为171(1.6GHz).结构优化后,调节范围为15.6,并设计了该电容的工艺流程,具有工艺简单、易与标准的IC电路集成等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵正平	中国电子科技集团公司第十三研究所	46	197	7.0	12.0
2	吕苗	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	34	4.0	5.0
3	张志国		17	48	5.0	5.0
5	李丽		27	94	6.0	9.0