射频微机械可变电容的设计与模拟

• 作者: 廖小平 董乔华
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS 可变电容 变化范围 VCO
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 275-278
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.096

摘要

介绍了一种可用于射频通信系统压控振荡器中的基于MEMS的平行板可变电容.该电容通过采用新的"一上两下"(一个上极板,两个下极板)结构,使电容值的变化范围突破了传统两层平行板可变电容的150%的理论限制.上极板上加电压后,在静电力作用下向下移动从而改变电容值.当所加电压值从1V变化到10V时,电容值相应从0.39pF变化到0.96pF(变化范围为246%).使用CoventorWare、HFSS软件对电容进行了模拟,给出了C-V曲线、S11参数随频率的变化曲线图.将该电容用于考比兹压控振荡器电路中进行了模拟,给出了输出波形图.