硅基铝T形梁MEMS可变电容的设计与模拟

• 作者: 廖小平 李锐
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 可变电容器 T形梁 RFMEMS 调节范围
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TN40|TN405
• 字数: 2145字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.01.015

摘要

提出了一种新颖的运用于射频通信系统VCO中的RFMEMS可变电容.该电容使用平行板和T形梁结构,使用硅衬底,整个结构由铝材料组成,结构简单,与集成电路工艺兼容,从而能够实现片上可变电容.通过静电力驱动上极板向下运动,电容值相应地发生改变,当上极板加电压从2.4V变化到4.3 V时,电容值从0.25 pF变化到0.33 pF,变化率为中心电容的27%.使用Coventor软件对该器件进行了模拟,给出的模拟结果包括容量、调节范围、瞬时响应、Pullin电压和运用该可变电容的VCO的电路模拟.