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模板对异构体选择性生长的动力学控制作用与化学气相沉积金刚石的生长机理
模板对异构体选择性生长的动力学控制作用与化学气相沉积金刚石的生长机理
作者:
姚宁
张兵临
杨仕娥
贾瑜
马丙现
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
模板
异构体
选择性生长
金刚石薄膜
摘要:
阐述了模板的动力学控制作用对大尺度有序结构特别是亚稳相的生长,对自由能相差很小的异构体的选择生长所具有的重要作用.汲取现有金刚石生长理论的合理思想,以模板概念为基础给出了对化学气相沉积(CVD)过程的动力学热力学综合描述:1)碳原子在碳氢化合物中的化学势高于固相碳,气相碳氢化合物的碳原子有可能落到化学势较低的固态碳的各种异构体.2)气相碳通过表面反应实现向固相碳的转化.3)表面的模板作用是控制气相碳原子转换方式的主要动力学因素,不同的表面(石墨各种取向的表面及金刚石不同取向的表面)选择了落入其上的碳原子的结构方式及能量状态.4)因此,衬底的不同区域可发生几种不同的独立的表面反应过程,这些反应对应于不同表面的生长.5)而这些表面反应的方向性及速度受表面临域热力学因素的影响,反应的方向性决定了某种晶面是生长或刻蚀,在特定的温度、压强及各种气体分压下可以实现金刚石的生长和石墨的刻蚀.6)衬底局域晶格结构及键价结构和衬底表面气相的温度、压强及各种气体分压等热力学条件共同决定了成核的临界条件.7)与外界有能量和物质交换的等离子体系统,以及气相中发生的一系列化学反应,仅起到了维持某种固相表面生长所需要的非平衡热力学条件和化学条件的作用.金刚石和石墨表面具有的模板动力学控制作用,在特定热力学条件下主导自身外延层的生长方式;异质衬底的某些局域微观结构可以作为新相生长成核的局域模板;不同材料、不同的处理方法、及不同的化学环境下的衬底具有不同的局域微观结构,从而决定了多晶薄膜的取向优势.
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孪晶
层错
CVD金刚石膜反应器内气相化学的理论研究进展
金刚石膜
化学气相沉积
气相化学
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
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期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
模板对异构体选择性生长的动力学控制作用与化学气相沉积金刚石的生长机理
来源期刊
物理学报
学科
物理学
关键词
模板
异构体
选择性生长
金刚石薄膜
年,卷(期)
2005,(9)
所属期刊栏目
凝聚物质:结构、热学和力学性质
研究方向
页码范围
4300-4308
页数
9页
分类号
O4
字数
11114字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1000-3290.2005.09.061
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
贾瑜
郑州大学物理工程学院
54
123
6.0
7.0
2
姚宁
郑州大学物理工程学院
122
692
12.0
18.0
3
张兵临
郑州大学物理工程学院
95
608
12.0
18.0
4
杨仕娥
郑州大学物理工程学院
68
513
12.0
18.0
5
马丙现
郑州大学物理工程学院
19
120
6.0
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(1)
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参考文献(0)
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2014(2)
引证文献(0)
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2015(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
模板
异构体
选择性生长
金刚石薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
主办单位:
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-3290
CN:
11-1958/O4
开本:
大16开
出版地:
北京603信箱
邮发代号:
2-425
创刊时间:
1933
语种:
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
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