金刚石膜在Si(100)衬底上的选择沉积

• 作者: 常开朋 张阳 朱鹤孙 江锦春 沈德忠 程文娟
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 Si(100)衬底 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 页码范围: 610-612
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1573字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2003.06.013

摘要

采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在Si(100)衬底上金刚石膜的选择沉积.用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析.并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了比较.结果发现,采用模板后,金刚石膜的成核密度和质量都得到很大提高.