化学气相沉积金刚石微球的生长机制研究

• 作者: 丁玉龙 吴啸 徐帅 李晓普 范波 闫宁
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石微球 化学气相沉积 二次形核 孪晶 层错
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164|O781
• 字数: 2601字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2018.5.0001

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积法,在过饱和碳离子浓度条件下,在单晶硅衬底上制备了球形结构的多晶金刚石微球,通过控制沉积气压与温度的变化,研究了金刚石由石墨生长区向纳米晶的球形结构、再到具有良好结晶性的金刚石生长区的过渡过程.结果表明:沉积气压与温度的升高导致微球的粒径增大,微球由sp3、sp2键共存相转变为较纯的金刚石相;在一定的碳离子过饱和度和气压、温度范围内,微球的形成主要受二次形核过程的控制.气压和温度升高后,微球呈<110>取向生长,微球的形成主要受(111)面高密度孪晶和层错缺陷的控制,揭示了化学气相沉积金刚石不同生长区内二次形核机制与孪晶层错机制诱导的金刚石微球的生长过程.