基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术

• 作者: 冯亚林 栗大超 郝一龙 金翠云 靳世久
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 动态测试 机器微视觉 模糊图像 微谐振器 谐振频率
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 771-774,796
• 页数: 5页
• 分类号: TP75
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2005.08.001

摘要

随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大.基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统,在此系统之上,提出模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率等重要参数进行了测试,给出了测量结果,并对测试结果进行了分析和讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
2	郝一龙	北京大学微电子学研究院	46	716	15.0	25.0
3	靳世久	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	211	3002	28.0	42.0
4	金翠云	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	17	189	8.0	13.0
5	冯亚林	北京大学微电子学研究院	9	105	6.0	9.0