基于频闪微视觉的MEMS微运动测试系统研究

• 作者: 严超 余海军 王灿林 龚立雄
• 来源期刊: 重庆理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微视觉 MEMS 图像序列 中值滤波
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 机械·材料
• 页码范围: 74-79
• 页数: 6页
• 分类号: TG806
• 字数: 3180字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8425(z).2017.07.011

摘要

MEMS广泛应用于智能手机、3D打印等领域,MEMS动态性能测试对故障定位,优化MEMS设计、加工工艺,降低封装成本具有重要意义.分析了MEMS微运动测试系统方案和原理,以图像处理为核心,通过计算机显微系统,引入频闪同步控制技术,构建了一套频闪微视觉MEMS动态测试系统,并以MEMS谐振器为例,激励正弦振动信号,驱动谐振器作正弦振动,对频闪微系统采集的图像序列进行观察和分析.Matlab计算仿真结果表明:该方法有效估计了谐振器的运动特性,具有较高的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚立雄	重庆理工大学机械工程学院	26	177	7.0	13.0
2	王灿林		3	5	1.0	2.0
3	余海军	重庆理工大学机械工程学院	1	1	1.0	1.0
4	严超	重庆理工大学机械工程学院	1	1	1.0	1.0