Na-Mg弱掺杂ZnO薄膜的结构和电学特性

• 作者: 李伟 杨文继 王德明 王烨 赵文刚 马忠权
• 来源期刊: 上海大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶凝胶法 Na-Mg掺杂 ZnO薄膜 电阻率测量
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 数理化科学
• 页码范围: 604-609
• 页数: 6页
• 分类号: O469
• 字数: 5070字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2861.2006.06.011

摘要

报道了用溶胶凝胶法制备由Na、Mg两种元素共同掺杂的ZnO薄膜,研究了在Na-Mg共同掺杂情况下,ZnO薄膜的表面形貌、微结构和电学性质.通过改变Na、Mg掺杂量与Zn的比值,ZnO薄膜可呈现良好的c-轴取向.同时,经过Hall效应测量发现:ZnO薄膜的电阻率、载流子浓度和迁移率随着Na、Mg的掺杂量而变化,并出现离散性,薄膜电阻率最低可达0.57×105 Ω·cm,具有P-型传导性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟	上海大学理学院	22	125	6.0	10.0
2	马忠权	上海大学理学院	25	87	5.0	8.0
3	赵文刚	上海大学理学院	3	37	2.0	3.0
4	杨文继	上海大学理学院	3	37	2.0	3.0
5	王德明	上海大学理学院	5	39	2.0	5.0
6	王烨	上海大学理学院	3	10	2.0	3.0