(110)硅基MEMS光开关光纤定位槽的设计

• 作者: 周敬然 徐宝琨 王丹 臧会东 董玮 贾翠萍 陈维友
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关 (110)硅片 耦合 锯齿状沟槽
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TN25
• 字数: 2290字
• 语种: 中文

摘要

利用KOH溶液腐蚀在(110)硅片上制作2×2 MEMS光开关,微反射镜表面光滑且垂直度较好,其质量高于用同样方法在(100)硅片上制作的反射镜,但是却存在自对准V型槽难以实现的问题.依据(110)硅片的结晶学特点,设计并制作了夹角为38.94°的两个光纤定位槽:一个为U型槽,两侧面均为{111}面;另一个是呈锯齿状的光纤槽,它是由腐蚀出的平行四边形蚀坑串组成.介绍了锯齿状沟槽的实现原理,对平行四边形蚀坑尺寸进行了分析设计,并采用菱形凸角补偿结构实现凸角补偿.这两种光纤定位槽结构都能够很好地固定光纤,并实现了光纤的自对准,且制作方法简单.