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用于高速旋转MEMS微引擎动态特性研究的光学测量技术进展
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摘要：
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高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究
MEMS扫描微镜
高速转动
动态形变
光学分辨率
高速微转子枢轴磨损特性分析
微机电系统
微转子
枢轴
磨损
MEMS微构件动态特性测试的激励技术和方法
微机电系统微构件
动态特性的测试
激励方法
引信MEMS机构微装配研究
引信
MEMS
安全系统
微装配技术
自动化
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研究主题发展历程
节点文献
微机电系统（MEMS）
高速旋转
微引擎
技术进展
光学测量
特性研究
动态测试技术
驱动齿轮
动态特性
课题研究
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
工具展望
主办单位：
机械工业部成都工具研究所
中国机床工具工业协会工具分会
全国刀具标准化技术委员会
中国机械工业金属切削刀具技术协会
全国量具量仪标准化技术委员会
机械工业工具科技信息网
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
成都市府青路二段24号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
1796
总下载数（次）
8
总被引数（次）
0
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