等离子体增强化学气相沉积法制备氧化锌薄膜

• 作者: 刘益春 张金波 李炳生 申德振 赵新丽
• 来源期刊: 扬州大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌 光致发光谱 透射谱
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 42-45
• 页数: 4页
• 分类号: O482.31
• 字数: 2064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-824X.2006.04.010

摘要

通过引入金属有机源--二乙基锌和二氧化碳,用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法在低温下制备高质量(002)取向的氧化锌薄膜,详细研究了衬底温度对薄膜质量的影响. 实验发现,衬底温度对氧化锌的取向性和晶粒的大小都有显著的影响. 随着温度的提高,氧化锌的取向性增强,温度为230 ℃时得到单一(002)取向的六角结构的氧化锌薄膜,其XRD的半高宽为0.26°. 从其透射谱可以观察到典型的激子吸收线,从光致发光谱上可以观察到一个强而窄(半高宽度大约为125 meV)的3.26 eV紫外激子发射.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李炳生	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	18	66	5.0	7.0
2	刘益春	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	181	9.0	12.0
3	申德振	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	28	102	6.0	8.0
4	张金波	扬州大学物理科学与技术学院	8	10	2.0	3.0
5	赵新丽	扬州大学物理科学与技术学院	13	11	2.0	3.0