微波频率下Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的介电特性随温度及外加偏压变化的检测

• 作者: 何豫生 孟庆端 张雪强 朱小红 李翡 罗强 郑东宁 顾长治
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 钛酸锶钡薄 共面带阻滤波器
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 291-295
• 页数: 5页
• 分类号: O51
• 字数: 2154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.2006.03.021

摘要

提出了一种新的结构来表征钛酸锶钡薄膜在微波频率下的介电特性,即在沉积有钛酸锶钡薄膜的氧化镁基片上制作了共面带阻滤波器.借助于共面带阻滤波器的谐振频率和Q值,通过比较其测量值与仿真值,可以得出钛酸锶钡薄膜的介电常数和介电损耗.在变温测试过程中,注意到金导电层的电导率对带阻滤波器的谐振频率和Q值有较大的影响.为了准确地得到钛酸锶钡薄膜的介电特性,仔细分析了金导电层对带阻滤波器频率响应曲线的影响,并在比较求值过程中消除了这一影响.