YG6硼化综合处理后基体温度对金刚石薄膜的影响

• 作者: 余志明 刘王平 李媛 肖和 胡德莹 马莉 魏秋平
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 硬质合金 基体温度 硼化处理 附着性能
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 29-34
• 页数: 6页
• 分类号: TG1
• 字数: 3186字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2006.06.005

摘要

采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,以甲烷和氢气为反应气体,在经950℃×6 h硼化综合处理后的YG6(WC-6%Co)硬质合金基体上制备了金刚石膜.使用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对金刚石薄膜进行检测分析、对比,研究了基体温度对金刚石薄膜形貌和生长织构的影响,比较了硼化综合处理与二步法处理对金刚石薄膜附着性能的影响.结果表明,当沉积气压为2.67 kPa,碳源浓度为3.3%时,薄膜表面形貌和生长织构随着基体温度改变有明显的变化,硼化综合处理较二步法预处理更加有效地改善了膜-基附着性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余志明	中南大学材料科学与工程学院	80	689	15.0	21.0
2	魏秋平	中南大学材料科学与工程学院	35	149	7.0	9.0
3	马莉	中南大学粉末冶金国家重点实验室	29	165	8.0	12.0
4	胡德莹	中南大学材料科学与工程学院	1	5	1.0	1.0
5	李媛	中南大学材料科学与工程学院	14	67	5.0	8.0
6	刘王平	中南大学材料科学与工程学院	3	19	3.0	3.0
10	肖和		1	5	1.0	1.0