MIS结构电容器的湿敏特性研究

• 作者: 杨发权
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 MIS结构 相对湿度 传感器
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 43-44
• 页数: 2页
• 分类号: TN298
• 字数: 991字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2006.07.015

摘要

在室温情况下,研究了MIS结构电容器的湿敏特性.用交流串联电路,测量其电流与相对湿度和频率的依赖关系,实验结果表明:此结构有良好的感湿灵敏度和短的响应时间.其中相对湿度从12%变化到98%时,在较宽频率范围(102～105 Hz)内,元件的电流有较大的变化.还对器件的物理模型进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨发权	佛山大学机电与信息工程学院	5	5	2.0	2.0