ICP在仿壁虎刚毛硅模版制作中的应用

• 作者: 倪林 孔德义 梅涛
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: ICP 柔性仿壁虎刚毛阵列 范德瓦尔斯力
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TB17
• 字数: 1915字
• 语种: 中文

摘要

简单介绍了ICP(inductively coupled plasma)中的两种刻蚀工艺,阐述了以MEMS加工技术制备柔性仿壁虎刚毛阵列的方法,即利用ICP设备,采用低温(CRYO)工艺,在硅片上制作仿壁虎刚毛硅模版,然后注入有机硅胶成型,经剥离后得到柔性仿壁虎刚毛阵列.实验结果表明,该方法具有工艺实现简便、硅模版可重复使用的优点.场发射扫描电子显微镜SEM照片显示了直径2 μm、间距6 μm和直径5 μm、间距20 μm的柔性仿壁虎刚毛阵列.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	倪林	中国科学院合肥智能机械研究所	48	408	13.0	18.0
2	梅涛	中国科学院合肥智能机械研究所	75	1218	19.0	31.0
3	孔德义	中国科学院合肥智能机械研究所	32	283	7.0	16.0