一种无检测质量的微机械热加速度计

• 作者: 陈友清 马宝国
• 来源期刊: 战术导弹控制技术
• 学科: 军事
• 关键词: 热敏感器 加速度计 倾斜测量
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 106-109
• 页数: 4页
• 分类号: E9
• 字数: 2633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-1300-B.2006.01.032

摘要

微硅机械技术用于制造一种热加速度计,这种敏感器不需要任何固态的检测质量,且生产成本较低.一个加热的电阻器产生了对称的温度曲线,两个温度探测器置于电阻的两边;当受到加速度的时候,温度曲线变成了非对称,这两个探测器测量这种差分温度.用电子束蒸发的方法将铂(Pt)电阻沉积在SiNx薄膜上,用做加热器和温度敏感器.本文根据加热器-探测器的距离、电源功率和室温,给出了温度曲线的测量和灵敏度.结果表明:灵敏度正比于加热的功率,但当室温增加时,灵敏度则降低.同时,也给出了在倾斜仪和离心机中应用的实验结果.当施加一正弦加速度时,测量到20Hz的3dB带宽,并得到相等的加速度噪声为0.3mg(RMS).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈友清		1	0	0.0	0.0