Fe/Ti纳米多层薄膜退火初期的扩散行为

• 作者: 吴志立 彭天祥 朱雪梅 雷明凯
• 来源期刊: 大连铁道学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: Fe/Ti纳米多层薄膜 加热退火 扩散 金属间化合物
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: TG113.12
• 字数: 2191字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9590.2006.03.017

摘要

采用双室高真空磁控溅射装置在溅射功率60 W和工作气压0.5 Pa下直流磁控溅射沉积了调制比为1,设计调制周期18.0 nm的Fe/Ti纳米多层薄膜.利用横截面透射电镜(XTEM)、差示扫描量热分析仪(DSC)及小角和广角X射线衍射(SA/WAXRD)分析退火初期的扩散行为.实测调制周期16.2 nm,原始沉积Fe/Ti纳米多层薄膜由交替生长的纳米多晶α-Fe和α-Ti组成,调制界面清晰.Fe/Ti纳米多层薄膜热失稳过程包括亚层间的扩散、金属间化合物FeTi形成和长大3个阶段.退火温度为473 K时,保持与原始沉积相同的成分调制结构;退火温度升高到523 K,Fe与Ti亚层间发生互扩散,成分调制结构破坏,但相变未发生;达到最高退火温度623 K,过饱和固溶体α-Fe(Ti)和金属间化合物FeTi形成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷明凯	大连理工大学材料科学与工程学院	115	712	14.0	19.0
2	朱雪梅	大连交通大学材料科学与工程学院	23	110	7.0	10.0
3	彭天祥	大连交通大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
4	吴志立	大连理工大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0