薄膜厚度和光学常数的主要测试方法

• 作者: 余飞鸿 陈燕平
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜厚度 光学常数 探针测量 光谱测量 椭偏测量
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 84-88
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 4733字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2006.06.017

摘要

准确地测量和控制薄膜厚度和光学常数等参数,在薄膜制备和分析和应用都是极为重要的.对薄膜的厚度和光学常数测试方法作了归纳和分类,并对几种主要的测试方法作了简要的介绍,分析了各自的特点及存在的问题.在测量薄膜的厚度和光学常数时,必须根据待测样品和测量精度要求选择合适的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余飞鸿	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	67	718	15.0	23.0
2	陈燕平	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	7	153	6.0	7.0