陶瓷衬底上薄膜电池的初步探索

• 作者: 万之坚 张宇翔 李海峰 王文静 许颖
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷 多晶硅薄膜 太阳电池
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 页码范围: 910-914
• 页数: 5页
• 分类号: TK5
• 字数: 3960字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2006.09.010

摘要

采用快速热化学气相沉积方法在氧化铝和氮化铝陶瓷衬底上制备多晶硅薄膜及太阳电池.多晶硅薄膜的晶粒尺寸在经过区再结晶后增大且霍尔迁移率提高,但随后的薄膜生长发现薄膜出现裂纹,影响了电池的效率,在Al2O3衬底上得到196mV开路电压,1.93mA短路电流;在AlN衬底上得到310mV开路电压,5.31mA短路电流.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许颖		39	349	12.0	17.0
2	王文静		35	350	10.0	18.0
3	张宇翔	郑州大学物理工程学院	45	274	10.0	14.0
5	李海峰	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	21	226	8.0	15.0
6	万之坚	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	11	42	3.0	6.0