用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究

• 作者: 夏保佳 张熙贵 李昕欣 杨辉 郑丹 陈聪
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC) 微机电系统(MEMS)技术 单晶硅片
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 261-265,268
• 页数: 6页
• 分类号: TM911.4
• 字数: 5039字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2006.04.003

摘要

采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌.将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA)叠片式组装成H2-空气自呼吸式μPEMFC.所制成的单体电池的体积约为0.3 cm3,质量不足0.65 g.在20℃,相对湿度RH为(60±5)%的室内环境下,用三种不同MEA即Nafion 112、Nafion 1135自制热压MEA和Gore PrimeaR 5561 MEA组装成的电池,其峰值比功率、体积比功率和质量比功率分别为123、112、58mW·cm-2,410、373、193 W·L-1,189.2、172.9、89.2 W·-1.通过比较上述三种不同μPEMFC的性能,分析了影响电池性能的若干因素.用Nafion 1135 MEA组装的μPEMFC以50 mA·cm-2进行累计260 h长时间放电实验,电池电压保持在0.6 V以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨辉	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室	179	2701	25.0	46.0
2	郑丹	上海应用技术学院化学工程系	23	36	4.0	5.0
3	夏保佳	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室	88	559	13.0	19.0
4	陈聪	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室	15	202	6.0	14.0
5	张熙贵	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室	28	170	8.0	12.0