大功率激光制备a-C和a-C: H类金刚石膜的光学性能研究

• 作者: 张冰 彭鸿雁 杨昕卉 赵立新 金曾孙 陈宝玲 陈玉强
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 激光功率密度 类金刚石膜 光学性能 结构
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 1012-1015
• 页数: 4页
• 分类号: O613.71|O484.4
• 字数: 2293字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0251-0790.2006.06.006

摘要

采用大功率高重复频率准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石碳膜, 研究了实验条件对类金刚石膜光学性能的影响, 发现氢可以提高膜中sp3键的含量和膜的光学透过率. 在实验参数范围内, 膜的光学性能随着氢压的增加而提高. 根据类金刚石膜的反应沉积机理对上述结果进行了分析、解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨昕卉	牡丹江师范学院物理系	26	66	5.0	7.0
2	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
3	张冰	牡丹江师范学院物理系	26	50	4.0	6.0
4	彭鸿雁	牡丹江师范学院物理系	29	94	6.0	8.0
5	陈玉强	牡丹江师范学院物理系	27	60	5.0	7.0
6	陈宝玲	牡丹江师范学院物理系	9	34	4.0	5.0
7	赵立新	牡丹江大学机电系	3	16	3.0	3.0