用于5～6GHz无线局域网的硅螺旋电感设计

• 作者: 孙龙杰 杨波 郭理辉
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频电感 结构优化 仿真 无线局域网
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 892-895
• 页数: 4页
• 分类号: TM55
• 字数: 2353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.05.024

摘要

提出一种设计和优化电感版图结构的方法.采用低电阻系数硅衬底和0.18μm Cu/SiO2互连工艺技术,设计出一组工作在5.7GHz的电感,同时优化了版图结构,例如内部磁芯大小、线圈宽度、线圈间距(0.2～11nH)等.与使用原有设计方法测出的电感的Q值相比,经过优化的5.7GHz电感的Q值可改进到5～8.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙龙杰	西安电子科技大学微电子研究所	7	28	3.0	5.0
5	杨波	西安科技大学微电子研究所	14	130	6.0	11.0
6	郭理辉	西安科技大学微电子研究所	2	6	2.0	2.0