膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响

• 作者: 易葵 朱美萍 范正修 邵建达 郭世海
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 膜厚监控 误差分析 不均匀性 规整膜系 非规整膜系
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1107-1111
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2469字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2006.07.029

摘要

借助于VC++编程从理论上模拟分析了膜厚监控误差以及监控片不均匀性对光学膜厚监控的影响.结果表明,膜厚监控误差和监控片的不均匀性都对监控曲线有影响;随着膜层层数的增加,监控片不均匀性逐渐增大.实验制备了多层规整薄膜并对其监控曲线进行了分析,分析表明考虑到膜厚监控误差和监控片不均匀性后计算的光学监控曲线和镀膜过程实测光学监控曲线吻合较好.这说明膜厚监控误差和监控片不均匀性是引起监控曲线与理论值偏离的重要因素.介绍了如何计算考虑膜厚监控误差和监控片不均匀性后的理论监控曲线.这将对膜厚自动监控,尤其是对非规整膜系的自动监控具有重要的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	易葵	中国科学院上海光学精密机械研究所	67	518	14.0	18.0
3	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
4	朱美萍	中国科学院上海光学精密机械研究所	7	35	4.0	5.0
8	郭世海	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	22	2.0	2.0