基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理

• 作者: 何长涛 姚远程 赵汝进 马孜
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 卡尔曼滤波 光学监控 信噪比
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 激光材料和光学元件
• 页码范围: 412-415
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2461字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2007.04.006

摘要

为了解决光学膜厚监控系统中经锁相放大输出的监控信号精度较低、极值点附近变化不灵敏等问题,采用卡尔曼滤波(KF)对光学膜厚监控信号进行处理,建立了针对非线性光学监控系统的扩展KF模型,模型输出包括监控信号和导数信号.仿真分析首先利用TFCalc软件生成4层增透膜理想监控曲线,加入高斯噪声后,信噪比为15dB,通过卡尔曼滤波处理后监控信号信噪比改善达16dB且实时动态跟踪特性良好,延时小于1s;利用平均值滤波处理KF输出导数信号,提前预判读获取导数过零点对应膜厚.同时通过对比TFCalc理想监控曲线极值点坐标和预判导数信号过零点坐标,得到理论膜厚误差小于4nm.此项研究提高了膜厚检测的准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马孜		27	98	4.0	9.0
2	赵汝进	西南科技大学信息工程学院	10	40	4.0	6.0
3	何长涛	四川大学电子信息学院	9	39	4.0	6.0
4	姚远程	西南科技大学信息工程学院	103	490	10.0	13.0