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微机电系统技术及其应用
微机电系统
组成及特征
材料特性及加工工艺
应用领域
微机电技术在引信中的应用
微机电
引信
信息化
智能化
小型化
EFAB加工技术及其在微机电系统中的应用
EFAB
SFF
微机电系统
电沉积
实时掩模
微机电系统的发展与应用
MEMS
传感器
执行器
纳米技术
工艺
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微机电系统技术及其在卫星中的应用
来源期刊 卫星电视与宽带多媒体 学科
关键词
年,卷(期) 2006,(20) 所属期刊栏目 卫星专业技术
研究方向 页码范围 32-34
页数 3页 分类号
字数 5003字 语种 中文
DOI
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
卫星电视与宽带多媒体
半月刊
1673-0348
13-1351/TN
大16开
河北省石家庄市
80-368
2004
chi
出版文献量(篇)
6930
总下载数(次)
2
总被引数(次)
1701
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