表面波表征ULSI互连布线双层薄膜机械特性的理论计算

• 作者: 姚素英 肖夏 阮刚
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超声表面波 low-k薄膜 频散特性 杨氏模量
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 774-777
• 页数: 4页
• 分类号: TN405.97
• 字数: 3824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2006.05.002

摘要

利用超声表面波在分层结构中传播的频散特性来测量薄膜的机械特性具有准确、快速、对材料无损伤等突出优点.本文研究了在Si(100)衬底上淀积双层薄膜的分层结构中超声表面波沿Si[110]晶向传播的速度-频率色散关系.应用此方法对超大规模集成电路(ULSI)中具有质软、易碎特点的低介电常数互连介质(low-k)薄膜的机械特性进行了表面波频散计算.研究了先进ULSI互连布线系统中广泛存在的3种分层薄膜结构上表面波的频散特性.计算表明不同分层结构对表面波的频散特性影响很大.对于同一分层结构,表面波的频散曲率随low-k薄膜杨氏模量的减小而显著增大.本工作为准确测定low-k薄膜的杨氏模量提供了理论计算依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚素英	天津大学电子信息工程学院	160	911	14.0	21.0
2	肖夏	天津大学电子信息工程学院	26	91	6.0	7.0
3	阮刚	复旦大学信息科学与工程学院	15	116	6.0	10.0