MEMS技术对缩小手机体积的贡献

• 来源期刊: 数字通信
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS技术 微电子机械系统 体积 手机 微型机电系统 微型传感器 多学科交叉 控制电路
• 年，卷（期）: 2006,（20）
• 页码范围: 17
• 页数: 1页
• 分类号: TN929.53

摘要

MEMS（Micro Electrome-chanical System，即微电子机械系统）是指集微型传感器，执行器以及信号处理和控制电路、接口电路，通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术，机械技术，材料科学，能源科学等。