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溅射等离子体气相沉积簿膜异常放电的表征和抑制技术
溅射等离子体气相沉积簿膜异常放电的表征和抑制技术
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摘要：
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双放电腔微波-ECR等离子体源增强磁控溅射沉积技术
磁控溅射
放电特性
氮化碳膜/等离子体源
放电电流对热阴极等离子体化学气相沉积金刚石膜影响
放电电流
热阴极
等离子体化学气相沉积
金刚石膜
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)等离子体 放电时空特性研究进展
高功率脉冲磁控溅射
等离子体参数
靶电流
时间特性
空间特性
单介质阻挡放电等离子体激励对平板气膜冷却性能的影响
气膜冷却
等离子体
单介质阻挡放电
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兰州交通大学学报
主办单位：
兰州交通大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
1001-4373
CN：
62-1183/U
开本：
大16开
出版地：
甘肃省兰州市安宁西路88号
邮发代号：
创刊时间：
1959
语种：
chi
出版文献量（篇）
4769
总下载数（次）
15
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28138
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