蓝宝石衬底上二维亚波长增透结构的设计分析

• 作者: 刘正堂 徐启远 李阳平 闫峰
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 亚波长结构 增透 周期 占空比 高度
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2073字
• 语种: 中文

摘要

利用等效介质理论、薄膜理论研究了二维亚波长结构的增透设计,以蓝宝石衬底为例,研究了二维亚波长结构的增透设计,分析了该结构的周期、占空比、高度等参数对增透率的影响,通过分析找到了合适的结构参数.结果表明,当二维亚波长结构的等效折射率等于增透镀层材料的折射率、刻蚀高度等于单层理想增透膜的厚度时,这种结构具有良好的增透效果.采用蓝宝石双面设计二维亚波长结构后,在3μm-5μm波段的平均透过率可达99.25%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李阳平	西北工业大学材料学院	25	201	8.0	13.0
2	刘正堂	西北工业大学材料学院	120	749	14.0	21.0
3	徐启远	西北工业大学材料学院	4	22	2.0	4.0
4	闫峰	西北工业大学材料学院	5	20	3.0	4.0