烘烤温度对LaNiO3薄膜微结构与电学性能的影响

• 作者: 丁玲红 张伟风 张婷 武超
• 来源期刊: 河南师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: LaNiO3 烘烤温度 择优取向 溶胶-凝胶法 导电性
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 87-90
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|O484
• 字数: 2906字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2367.2007.01.026

摘要

采用sol-gel技术在单晶Si(100)衬底上制备了LaNiO3导电薄膜.利用X射线粉末衍射、原子力显微镜、扫描电子显微镜和四探针电阻测量法研究了不同烘烤温度对LaNiO3薄膜的晶体结构、表面形貌和导电性能的影响.结果表明,LaNiO3薄膜均为赝立方钙钛矿结构,表面致密、均匀,衬底与薄膜间界面清晰.烘烤温度为210 ℃时,薄膜具有最好的＜110＞择优取向性.烘烤温度在210 ℃的薄膜具有最低的电阻率,达到10-4 Ω·cm数量级,导电性能最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟风	河南大学物理与电子学院	66	248	8.0	10.0
2	武超	河南大学物理与电子学院	14	119	5.0	10.0
3	张婷	河南大学物理与电子学院	29	59	4.0	6.0
4	丁玲红	河南大学物理与电子学院	21	95	6.0	8.0