磁控溅射真空制膜技术

• 作者: 任雪勇 余平 张晋敏 肖清泉
• 来源期刊: 贵州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 薄膜 椭偏仪
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 计算机、信息与电子科学
• 页码范围: 68-70,86
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2249字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5269.2007.01.017

摘要

利用JGP-560CⅧ型带空气锁的超高真空多功能溅射系统在Si(100)和玻璃基底上沉积了介质薄膜、半导体薄膜、金属薄膜和磁性薄膜,通过实验研究得到各种薄膜较好的镀膜条件;并采用可变入射角椭圆偏振光谱仪对其中一些薄膜的光学性质进行了分析,研究了制备条件对薄膜在可见光范围内光学性质的影响;我们还研究了直流溅射、射频溅射、反应溅射的特点和它们的适用范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晋敏	贵州大学计算机科学与技术学院电子科学系	47	261	7.0	15.0
2	肖清泉	贵州大学计算机科学与技术学院电子科学系	40	199	7.0	13.0
3	余平	贵州大学计算机科学与技术学院电子科学系	10	145	3.0	10.0
4	任雪勇	贵州大学计算机科学与技术学院电子科学系	7	72	1.0	7.0