大尺寸金刚石膜生长中等离子体弧源的稳定性

• 作者: 左敦稳 李多生 相炳坤 赵礼刚 陈荣发
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 大尺寸平面金刚石膜 化学气相沉积 弧源稳定性
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 338-342
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.442
• 字数: 3716字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2615.2007.03.013

摘要

保持等离子体弧源稳定性对于制备大尺寸平面金刚石膜极其重要,故从理论和实验两个方面对等离子体弧源稳定性进行了分析.研究表明,为了保持弧源的稳定,必须在生长过程中,保持稳定的电子温度和均匀的活性原子及原子基团密度.金刚石膜在某些条件下长时间生长时,会发生阳极环积碳现象,导致等离子体弧源扰动失稳,从而引起生长的金刚石膜含有石墨杂质.通过预处理阳极环、控制碳源、加大氢气量等措施可保持弧源稳定.在此条件下生长金刚石膜,经SEM,Raman分析表明,其晶粒均匀、晶界清晰,仅有金刚石特征峰出现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	陈荣发	南京航空航天大学机电学院	9	65	5.0	8.0
3	李多生	南京航空航天大学机电学院	8	65	5.0	8.0
5	相炳坤	南京航空航天大学机电学院	20	134	8.0	10.0
6	赵礼刚	南京航空航天大学机电学院	5	46	4.0	5.0