织构对CVD自支撑金刚石薄膜残余应变的影响

• 作者: 冯惠平 朱宏喜 毛卫民
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 金刚石薄膜 织构 弹性模量 残余应变
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: TB3
• 字数: 3321字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3093.2007.01.006

摘要

计算了薄膜试样不同方向的弹性模量,研究了织构和甲烷浓度对CVD自支撑金刚石薄膜的宏观残余应变的影响.结果表明,织构使CVD金刚石薄膜的弹性模量和宏观残余应变呈现各向异性.甲烷浓度的升高导致织构组分密度水平变化,使薄膜的弹性模量增大,从而降低残余应变;另一方面,杂质浓度的升高增大宏观残余应变.改变薄膜沉积工艺参数可调整织构,从而调节薄膜的残余应力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛卫民	北京科技大学材料学系	351	4505	35.0	51.0
5	冯惠平	北京科技大学材料学系	37	535	12.0	22.0
6	朱宏喜	北京科技大学材料学系	5	63	4.0	5.0