用SiO2气凝胶做隔热层的铁电薄膜红外探测器性能与铁电薄膜层厚度的关系

• 作者: 孙璟兰 孟祥建 张晓东 林铁 汪琳 石富文 褚君浩 陈静 马建华
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 红外探测器 铁电薄膜厚度 二氧化硅气凝胶
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 329-331,335
• 页数: 4页
• 分类号: TN362
• 字数: 3241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2007.05.003

摘要

研究了铁电薄膜红外探测器响应率等器件参数随铁电薄膜厚度的变化.器件的隔热层结构采用气凝胶二氧化硅.实验发现器件的热释电系数,吸收率以及热导均随膜厚增加而增加.铁电膜层厚度为240nm的器件,其热导与微桥结构器件的热导相近,都为10-7W/K量级,证明气凝胶二氧化硅做隔热层能够制备出性能优良的热释电红外探测器.随着薄膜厚度增加,热导急剧增大,这是引起器件响应率降低的原因.制备铁电薄膜过程中的多次650°高温退火可能降低了二氧化硅多孔率.