沉积压力对Parylene C膜性能的影响

• 作者: 吉祥波 唐贤臣 赵宗峰 陈艳平 鲜晓斌
• 来源期刊: 化工新型材料
• 学科: 化学
• 关键词: Parylen C 沉积压力 结晶度
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 47-48
• 页数: 2页
• 分类号: O6
• 字数: 1619字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3536.2007.11.017

摘要

采用X射线衍射(XRD),MOCON透湿仪等研究了不同沉积压力下制备ParyleneC膜的结晶度、水蒸汽透过性、拉伸强度、雾度、透明度随沉积压力的变化规律.结果表明,随着沉积室压力升高,Parylee C膜相对结晶度、透湿性能、拉伸强度、透明度下降,雾度增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐贤臣		1	6	1.0	1.0
2	鲜晓斌		1	6	1.0	1.0
3	吉祥波		1	6	1.0	1.0
4	赵宗峰		1	6	1.0	1.0
5	陈艳平		1	6	1.0	1.0