多晶硅铸锭炉加热室的设计

• 作者: 姚文军 王晓军 苏文生 陈国红
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅铸锭炉 加热室 石墨加热器 隔热层
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 专题报道(半导体前道制造技术)
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TF063
• 字数: 2316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.07.011

摘要

加热室是多晶硅铸锭炉的关键部件之一.多晶硅锭的生长工艺过程都要通过加热室的调整来实现.着重介绍了多晶硅铸锭炉加热室的结构设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈国红	国防科学技术大学研究生院	7	27	4.0	5.0
3	王晓军		2	9	1.0	2.0
4	苏文生	中国电子科技集团公司第四十八研究所	10	20	3.0	4.0
7	姚文军	中国电子科技集团公司第四十八研究所	1	9	1.0	1.0