MEMS技术在流体控制中的应用

• 作者: 叶甜春 易亮 欧毅 陈大鹏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 流体控制 微剪切应力传感器 微执行器 MEMS
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 专题报道
• 页码范围: 21-30
• 页数: 10页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 2797字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.01.006

摘要

微机电系统(MEMS:Micro E1ectro-Mechanical System)技术或微传感器与微执行器(Micromachined Tranducers)技术,它是在微电子技术的基础上发展起来的,融合了硅微加工和精密机械加工等多种微加工技术,并利用IC技术把控制和信号处理电路与机械部件集成的微型系统.这种技术所涉及的器件的特征尺寸一般小于1 mm而大于1 μm,它为流体控制研究开辟了一个崭新的领域.简述了流体控制技术的基本原理以及应用MEMS技术实现流体控制的机理和途径,分别介绍了国外研究机构近年来在微传感、微执行技术的研究工作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈大鹏	中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室	13	126	6.0	11.0
2	欧毅	中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室	7	76	4.0	7.0
3	叶甜春	中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室	14	91	5.0	9.0
4	易亮	山东大学物理与微电子学院	1	2	1.0	1.0