特种硬质薄膜的制备

• 作者: 于玉城 刘志远 晋勇 栾道成 赵广彬
• 来源期刊: 西华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: CrNx 热阴极离子镀 XRD
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与成型技术
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2202字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2007.01.013

摘要

本文采用热阴极离子镀技术在GCr15基体上制备了CrNx薄膜,利用X射线衍射(XRD)方法和显微硬度分析方法对所制备的样品进行了结构分析和性能测试.结果表明沉积薄膜工艺参数,如基体偏压和N2分压等对薄膜的结构和性能有重要影响.在本试验条件下,获得的样品表面硬度值最高可达HV2338.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栾道成	西华大学材料学院	102	687	13.0	20.0
2	晋勇	四川大学材料学院	21	205	8.0	14.0
3	赵广彬	西华大学材料学院	24	89	6.0	7.0
4	于玉城	西华大学材料学院	3	31	2.0	3.0
5	刘志远	西华大学材料学院	3	10	2.0	3.0