钢渗铬层上金刚石薄膜的表面、界面结构及附着性

• 作者: 刘宏伟 罗承萍 邱万奇 陈灵 黄元盛
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石膜 渗铬钢 界面 附着力
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 217-220
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2007.05.001

摘要

在钢渗铬层表面用化学气相沉积(CVD))法制备了金刚石薄膜.使用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和压痕法研究了金刚石膜的表面、界面结构及附着力.用拉曼光谱分析了金刚石膜的纯度及非金刚石碳相.甲烷含量超过0.6%(体积分数)后,金刚石膜为球形纳米晶,形核密度＞107cm-2.用甲烷含量为0.6%(体积分数)沉积的金刚石膜表面的残余压应力为1.22 Gpa,而膜背面的残余压应力更高,达2.61 Gpa.压痕显示在19.6 N载荷下膜发生开裂.TEM观察发现,膜/基界面为微观非平面,有利于提高金刚石膜的附着力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈灵	华南理工大学机械工程学院	29	99	6.0	8.0
2	邱万奇	华南理工大学机械工程学院	67	339	9.0	15.0
3	黄元盛	江门职业技术学院材料技术系	14	113	7.0	10.0
7	罗承萍	华南理工大学机械工程学院	80	1286	19.0	33.0
8	刘宏伟	广西大学机械工程学院	8	35	4.0	5.0